ガス浄化システム エンクロージャーのボリュームが異なる 基本的な構成 生産ラインのGlove Boxに適用される大容量のPurification System. 量産用 Purification System (Transfer Module そして OLED チェッカー Modul用) 異なる体積のエンクロージャ用ガス精製装置 5m3, 10m3, 50m3, 等