Glovebox

for different volume of enclosures

  • ガス浄化システム
    エンクロージャーのボリュームが異なる

    基本的な構成

  • 生産ラインのGlove Boxに適用される大容量のPurification System.
  • 量産用 Purification System
    (Transfer Module そして OLED チェッカー Modul用)
  • 異なる体積のエンクロージャ用ガス精製装置 5m3, 10m3, 50m3, 等