Glovebox

ハーメチックシールシステム

  • ハーメチックシールシステム

    基本的な構成

  • 1ppm未満までの酸素/水分除去
  • 制御: PLC Type (Heat, Vacuum, Purge, Refill)
  • 自動圧力コントローラー
  • 真空ポンプと循環ブロー
  • 効率的な精製自動再生プロセス