• Cluster-typed Tandem Evaporation System

[Specification]
• Perovskite 太陽電池の大面積セール研究、開発用
• CTL (Charge Transport Layer ) 蒸着用チャンバー
• ALD (Atomic Layer Deposition) チャンバー
• TCO (Transparent Conductive Oxide)蒸着用チャンバー
• 全工程の自動化 (Transfer Robot )
• M6 サイズ Wet Process用 Glovebox Integration
  (Slot Die 及び Spin Coaterを含む)
• Thickness Uniformity 及び Repeatability 信頼性を確保