Semiconductor R&D

• Lithography用グローブボックス

[Specification]
• Optical Sensor 開発及び研究システム
• 超高清浄度を維持する為のLaminar Flow 適用
• 4インチ ALD及びThermal Evaporation System Integration
• ハードウェア的、ソフトウェア的なVibration Isolation技術適用

• Photolithography, グローブボックス Integration
• ハードウェア的、ソフトウェア的なVibration Isolation技術適用
• サンプルの大気接続の防止
• Active Vibration Isolation Table 適用
• Pumpの振動を伝達を最小化する技術を適用
• 特殊素材のBellows適用