Sample의 균일도 확보 목적.

Sample의 재질이 PVC 등 열에 약한 물질 일 경우
Thermal Power를 인가 할 때 발생하는 열에 의한 Sample 변형 방지.

배터리 및 태양광 등의 소재를 개발 할 목적으로 장비 사용 시, 증착기 사용 전 공정에서 Spin Coating을 사용하여 PR 등을 Sample에 먼저 코팅을 하는데, 코팅 후 증착기의 Thermal Power를 인가 할 시 PR에 열적인 영향으로 변형이 발생되어 Sample 사용 못함. 이를 방지하기 위해 Sample Cooling 진행.

증착기 공정 중 유기물 증착(Organic Process) 시 유기물의 녹는점이 낮아서 Thermal Power를 낮게 설정하여 증착 진행.

Thermal Power가 낮아 Sample에 증착 되는 밀착도가 떨어 질 수 있는데, 이를 보완하기 위해 Sample Heating 진행.