Semi-conductor R&D

• Lithography용 글로브박스

[Specification]
• Optical Sensor 개발 및 연구 시스템
• 초고청정도 유지를 위한 Laminar Flow 적용
• 4인치 ALD 및 Thermal Evaporation System Integration
• 하드웨어적, 소프트웨어적 Vibration Isolation 기술 적용

• Photolithography, 글로브박스 Integration
• 하드웨어적, 소프트웨어적 Vibration Isolation 기술적용
• 샘플의 대기접촉 방지
• Active Vibration Isolation Table 적용
• Pump 진동 전달 최소화 기술 적용
• 특수 소재 Bellows 적용